Sputtering of Multicomponent materials: numerical solution of the balance equation / Falcone, Giovanni; Oliva, A.. - In: APPLIED PHYSICS. A, SOLIDS AND SURFACES. - ISSN 0721-7250. - 33(1984), p. 175.
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Titolo: | Sputtering of Multicomponent materials: numerical solution of the balance equation |
Autori: | |
Data di pubblicazione: | 1984 |
Rivista: | |
Citazione: | Sputtering of Multicomponent materials: numerical solution of the balance equation / Falcone, Giovanni; Oliva, A.. - In: APPLIED PHYSICS. A, SOLIDS AND SURFACES. - ISSN 0721-7250. - 33(1984), p. 175. |
Handle: | http://hdl.handle.net/20.500.11770/157784 |
Appare nelle tipologie: | 1.1 Articolo in rivista |
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